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氮化鉭,TaN

氮化鉭,TaN

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  • 發布日期:2020-08-05 10:41:34
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氮化鉭(Tantalum mononitride)為黑色六方結晶,分子式為TaN,分子量為194.95。 相對密度為13.4,熔點為3090℃,顯微硬度為1100kg/mm2,熱導率為9.54W/(m·K),電阻率為128μΩ·cm。δ氮化鉭為黃綠色結晶,屬氯化鈉型結晶,相對密度為15.6。晶格常數為a=0.4336nm,c=0.4150nm。熔點為2950℃,顯微硬度為3200kg/mm2,轉化點溫度為17.8K。不溶于水、酸,微溶于王水,溶于氫氧化鉀并分解釋放出氨,加熱至2000℃即釋放出氮氣。

1、用來制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕。

2、用作超硬質材料添加劑,可制備純的五氯化鉭:用于噴涂,增加變壓器、集成線路、二極管的電穩定性。在制造集成電路的過程中,這些膜沉積在硅晶片的頂部,以形成薄膜表面貼裝電阻。用來制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕。氮化鉭材料被用于制作芯片導線的保護層。


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